(1) ការព្យាបាលមុន PVD រួមទាំងការសម្អាតរបស់របរ និងការព្យាបាលមុន។វិធីសាស្ត្រសម្អាតជាក់លាក់រួមមានការលាងសម្អាតសារធាតុសាប៊ូ ការសម្អាតសារធាតុរំលាយគីមី ការសម្អាត ultrasonic និងការសម្អាតគ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង។
(2) ដាក់ពួកវាទៅក្នុងឡ រួមទាំងការសម្អាតបន្ទប់បូមធូលី និងគ្រឿងបរិក្ខារ និងការដំឡើង ការដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់ និងការភ្ជាប់ធាតុ និងឧបករណ៍។
(3) ការបូមធូលី ជាទូទៅបូមដល់ 6.6Pa ឬច្រើនជាងនេះ បើកផ្នែកខាងមុខនៃស្នប់សាយភាយមុន ដើម្បីរក្សាម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងកំដៅម៉ាស៊ីនបូមដែលសាយភាយ។បន្ទាប់ពីកំដៅបានគ្រប់គ្រាន់ សន្ទះបិទបើកខ្ពស់ត្រូវបានបើក និងបូមទៅកន្លែងបូមធូលី 6 x 10-3 Pa ពាក់កណ្តាលបាតជាមួយនឹងស្នប់សាយភាយ។
(4) ដុតនំ, ដុតនំធាតុទៅសីតុណ្ហភាពដែលចង់បាន។
(5) ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ការខ្វះចន្លោះជាទូទៅគឺ 10 Pa ទៅ 10-1 Pa វ៉ុលបំផ្ទុះអ៊ីយ៉ុងគឺជាវ៉ុលខ្ពស់អវិជ្ជមានពី 200 V ទៅ 1 KV ហើយពេលវេលាវាយប្រហារគឺ 15 នាទីទៅ 30 នាទី។
(6) ការរលាយមុន ការលៃតម្រូវចរន្តដើម្បីរលាយសម្ភារៈមុន ការលៃតម្រូវចរន្តដើម្បីរលាយមុនចាននិង degassing សម្រាប់ 1min ~ 2min ។ការបំភាយនៃការបំភាយ។ចរន្តរំហួតត្រូវបានកែតម្រូវតាមតម្រូវការ រហូតទាល់តែអស់ពេលនៃការរំហួតដែលចង់បាន។ការធ្វើឱ្យត្រជាក់ ធាតុត្រូវបានត្រជាក់ទៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយនៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ។
(7) បន្ទាប់ពីវត្ថុត្រូវបានយកចេញ បន្ទប់បូមធូលីត្រូវបានបិទ កន្លែងបូមធូលីត្រូវបានជម្លៀសទៅ l × l0-1Pa ហើយស្នប់សាយភាយត្រូវបានធ្វើឱ្យត្រជាក់ដល់សីតុណ្ហភាពដែលអាចអនុញ្ញាតបាន មុនពេលបូមថែទាំ ហើយទឹកត្រជាក់អាចត្រូវបានបិទ។